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用mems工艺制造传感器的好处-利来app官网

2017-10-19

       mems传感器是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器。用mems工艺制造传感器、执行器或者微结构,具有微型化、集成化、智能化、成本低、效能高、可大批量生产、产能高、良品率高等特点。mems传感器作为国际竞争战略的重要标志性产业,以其技术含量高、市场前景广阔等特点在世界各国广泛应用。

      近十年来,中国mems气体传感器产业生态系统也正逐步完善,从研发、设计、代工、封测到应用,完整产业链已基本形成。在智能家居应用中,传统的与总线相连的传感器价格昂贵,传感器组网的开销成本巨大,在一些区域布线困难,且不同类型的传感器和控制系统的软硬件之间协议不兼容。因此,随着无线传感器网络技术的发展与成熟,无线传感器网络产品开始凭借自身独特的优势,开始逐步替代传统有线传感器产品,并渗入到智能家居领域的各个环节。温度传感器主要用于探测室内、室外环境温度。家庭环境中应用最多的是热敏电阻。热敏电阻器是敏感元件的一类,按照温度系数不同分为正温度系数热敏电阻器(ptc)和负温度系数热敏电阻器(ntc)。热敏电阻器的典型特点是对温度敏感,不同的温度下表现出不同的电阻值。

      正温度系数热敏电阻器(ptc)在温度越高时电阻值越大,负温度系数热敏电阻器(ntc)在温度越高时电阻值越低,它们同属于半导体器件。湿度传感器主要用于探测室内、室外环境湿度。湿敏元件是最简单的湿度传感器。湿敏元件主要有电阻式、电容式两大类。湿敏电阻的特点是在基片上覆盖一层用感湿材料制成的膜,当空气中的水蒸气吸附在感湿膜上时,元件的电阻率和电阻值都发生变化,利用这一特性即可测量湿度。湿敏电容一般是用高分子薄膜电容制成的,常用的高分子材料有聚苯乙烯、聚酰亚胺、酪酸醋酸纤维等。当环境湿度发生改变时,湿敏电容的介电常数发生变化,使其电容量也发生变化,其电容变化量与相对湿度成正比。

      存在于自然界的物体,如人体、火焰、冰块等物都会发射红外线,但波长各不相同。人体温度为36~37摄氏度,所发射的红外线波长为9~10微米,属远红外区;400~700摄氏度的发热体,所放射出的红外线波长为3~5微米,属中红外区。热释电红外传感器不受白天黑夜的影响,可昼夜不停地用于监测,广泛地用于防盗报警。红外传感器高热电系数的材料,常见的有锆钛酸铅系陶瓷、钽酸锂、硫酸三甘钛等。热释电人体红外传感器一般都采用差动平衡结构,由敏感元件、场效应管、高值电阻等组成。

       粉尘传感器一般采用光学方式进行测量,其工作原理是光照射粒子时,不同尺寸和浓度的粒子会有不同的散射图像,通过散射光分布的检测就能测量粉尘浓度的具体情况。可见光传感器主要用于测量室内可见光的亮度,用于调整室内亮度。传感器将光信号转化为电信号输出。通过传感器的检测和驱动控制可实现:室内光亮充裕时,预设灯具开关主动闭合;而室内光度不足时,预设灯具开关可主动开启。

       现如今,空气质量越来越成为人们关心的问题,因此无线气体传感器吸引了越来越多厂商的兴趣。气敏传感器可以检测空气中特殊气体的成分含量,传感器利用声表面波速和频率与外界环境变化有正相关特性原理制作,即当气敏膜与待测气体相互作用,使气敏膜膜层质量与导电率发生变动,引发压电晶体声表面的波频率产生漂移;气体浓度变化,膜层质量和导电率变化大小也发生变化。

 
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