• 0512-62626885(7)
利来app利来国际官网首页 > 新闻中心 > 行业资讯 >

mems气体传感器的典型应用-利来app官网

2017-10-30

      现在智能家居中的传感器基本都是集成传感器,集成传感器是利用集成电路工艺将半导体敏感元件、测量处理电路集成在一个芯片上制成的性价比高、使用方便的小型化传感器。而利用集成电路技术工艺和微机械加工方法,可将基于各种物理效应的机电敏感元器件和处理电路集成在一个芯片上,从而制成微机电系统(micro-electro-mechanicalsystems,mems)传感器。

      这种传感器敏感结构的尺寸可达到微米、亚微米级,并可以批量生产,具有体积小、质量轻、响应快、灵敏度高、成本低等优势。我国的mems气体传感器产业在世界处在领先地位,包括美国登录火星的火车车上都有我们中国人发明的传感器,像mems加速度计、压力传感器已广泛应用于汽车工业,像智能家居里的多合一检测传感器就是mems的典型应用。集成电路技术、微机械加工技术等新技术新工艺的发展为传感器的集成和微型化提供了可能。采用微机械加工技术制作的敏感元件的尺寸一般为微米级,利用各向异性腐蚀、牺牲层技术和liga工艺(即光刻、电铸和注塑),可以制造出层与层之间有很大差别的三维微结构,包括可活动的膜片、悬臂梁、桥以及凹槽、孔隙、锥体等。采用敏感结构和检测电路的单芯片集成技术,能够避免多芯片组装时引脚引线引入的寄生效应,改善了器件的性能,提高了抗干扰能力。微电子和微机械加工技术制造出来的微型传感器由于采用了系统级封装方式,与传统传感器相比,具有体积小、质量轻、成本低、功耗小、可靠性高、适于批量化生产、易于集成和实现智能化的特点,在智能家居中已经起到决定系统的部分。

      智能穿戴装置两大功能项目在于量化生活(quantified self)及随身环境安全监测。其所需感测功能大致可包括活动感知、影像感测、环境感测及生理感测四大类别。mems组件在穿戴装置上的应用诉求,是使系统达到微小化、低功耗、高性能及多功能整合等目的。健身和健康监测就是mems传感器在智能穿戴装置中的代表性的应用。计步表或计步器是利用三轴mems加速度传感器,在特定的情况下,计步器的传感器能够精确地测定在步行和跑步过程中作用在系统上的加速度,通过处理加速度数据,计步器显示用户走过的步数和速度,以及在身体运动过程中所消耗掉的热量。 

      mems流量传感器是基于传统的热膜片风力计原理借助先进的薄膜片技术,将性能稳定的薄膜片电阻加工到一片薄膜上。由于采用了mems加工,因此一方面缩短了传感器响应时间,另一方面由于采用了前后桥电路,可以判断出流体流向,从而进一步测量出回流流量。为了防止温度变化对测量精度的影响,传感器中采用了两片热敏电阻分别对前后桥进行了温度补偿。流量传感器主要用于检测发动机的空气进气量和燃油喷射量,从而将空燃比控制在最佳值附近,此外流量传感器还广泛利用于排气再循环、防滑驱动、刹车防抱死系统以及电控悬架等许多方面。

      随着电子技术的发展,mems的应用领域越来越广泛,由最早的工业、军用航空应用走向普通的民用和消费市场。在智能手机上,mems传感器提供在声音性能、场景切换、手势识别、方向定位、以及温度/压力/湿度传感器等广泛的应用;在汽车上,mems传感器借助气囊碰撞传感器、胎压监测系统(tpms)和车辆稳定性控制增强车辆的性能;医疗领域。
 

利来app利来国际官网首页 利来网的产品中心 利来国际官网的解决方案 联系利来app官网