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薄膜压力传感器可测金属目标-利来app官网

2017-10-10

      薄膜压力传感器的测量范围比电感式传感器大一倍,它不仅能检测金属目标,而且还能检测电介质,如纸、玻璃、木材和塑料等,甚至可以通过墙壁或纸壳进行检测。由于人体在低频下相当于电导体,因此也出现了用于人的颤抖测量和防盗报警。

   在测量构件应变时,直接将应变片黏贴在构件上即可,但若要测量力、压力、加速度等信号,应先将这些物理量转变成应变,然后用应变片测量,比直接测量时多了一个转换过程,完成这种转换过程的原件通常称为弹性原件,因此,应变式传感器通常由弹性敏感原件和应变计两部分构成。弹性敏感原件是传感器的核心部件,要求弹性原件弹性储能高,通常表示为弹性材料储存变形功而不发生永久变形的能力。压力传感器具有良好的机械加工和热处理性能,具有较强的抗压强度。受温度影响小等特性,正确选择弹性敏感原件及应变计桥路是提高应变式传感器的重要途径:

   测量范围光精度高,测力传感器可测0.01--1000000n的力,精度可达到0.05%fs以上;压力传感器可测0.1-1000000的压力,精度可达到0.1%fs。性能稳定可靠,使用寿命长,如称重式机械杠杆称,由于杠杆、刀口等部分互相摩擦产生损耗和变形,欲长期保持其精度是相当困难的,采用电阻应变式称重传感器制成的电子泵、汽车衡、轨道衡等,能在恶劣的环境条件下长期稳定工作。频率响应特性极好。压力传感器一般电阻应变计响应时间为0.01ms,半导体应变计可达到0.001ms如能在弹性原件上采取措施则由他们构成的应变式传感器可测几十千赫甚至上百千赫的动态过程。

      在组合式应变压力传感器中,弹性敏感元件可分为感受元件和弹性应变元件。感受元件把压力转换为力传递到弹性应变元件应变最敏感的部位,而应变片则贴在弹性应变元件的最大应变处。实际上较复杂的应变管式和应变梁式都属于这种型式。感受元件有膜片、膜盒、波纹管、波登管等,弹性应变元件有悬臂梁、固定梁、π形梁、环形梁、薄壁筒等。它们之间可根据不同需要组合成多种型式。应变式压力传感器主要用来测量流动介质动态或静态压力,例如动力管道设备的进出口气体或液体的压力、内燃机管道压力等等。

      硅微型压力传感器的特点是体积小,重量轻,没有活动部件,可靠性高,又能大规模生产该传感器,所以造价低。高可靠性,低成本对于汽车工业的要求可以说是非常适合的,因此在汽车工业中迅速扩展了它的应用领域。如自动刹车系统的压车面压力,轮胎压力,气囊压力,传动系统流体压力,注入系统流体压力,注入燃料压力,发动机机油压力。进气管道压力都有硅微型压力传感器额用武之地。

      硅微型压力传感器基本上分成两类:电容式和压阻式。电容式的压力传感器包括一个薄膜,它作为可变空气电容器的一个极板,当薄膜上承受压力时,薄膜产生位移,从而改变电容值,利用这种变化经过相应的电路处理,就可得到压力值。压阻式传感器使用硅材料承受压力时会产生电阻变化的原理制成,一般将4个硅材料的应变电阻构成惠斯通电桥来测量压力。

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